Графітове кільце з покриттям TAC

Графітове кільце з покриттям TAC (Tantalum Carbide) є критичним компонентом, що використовується для виробництва напівпровідників, зокрема в таких процесах, як епітаксіальне осадження та травлення в плазмі. Ці кільця призначені для безпечного утримання та розміщення кремнієвих вафель, забезпечуючи точне вирівнювання та стабільність під час високотемпературних та суворих хімічних середовищ. Наші путівники розроблені для задоволення суворих вимог сучасного напівпровідникового виготовлення, що допомагає покращити врожайність процесу та якість вафель.

Матеріальний склад та фізичні властивості

Ядро нашого графітового кільця з покриттям TAC-це графітове кільце з високою чистотою, яке потім покрито шаром карбіду Tantalum (TAC).

Графітова підкладка:

Графіт забезпечує кілька ключових переваг. Він має чудову теплову стабільність, протистоячи деформації при високих температурах, поширених у напівпровідниковій обробці. Його легка природа мінімізує теплову масу, що забезпечує швидке нагрівання та охолодження. Графіт високої чистоти також запобігає забрудненню технологічної камери.

CVD TAC Покриття:

Покриття карбіду Tantalum є ключем для вищої продуктивності кільця. TAC - надзвичайно жорсткий керамічний матеріал, який пропонує виняткову стійкість до зносу та хімічну інертність. Він захищає основний графіт від агресивної плазми та корозійних газів, значно продовжує тривалість життя кільця. Це покриття також запобігає проливанню частинок, що має вирішальне значення для підтримки чистого технологічного середовища та запобігання дефектам поверхні вафлі.

Роль путівників у обробці вафель

Наше посібник з покриттям TAC відіграє життєво важливу роль у забезпеченні якості та ефективності виготовлення напівпровідників.

● Вирівнювання та стабільність вафель: Під час епітаксіального росту або травлення направляюче кільце утримує вафлі в точному положенні. Це запобігає зміщенню вафлі, що є важливим для рівномірного осадження шару та точного перенесення візерунка по всій поверхні вафель.

● Теплове управління: Термічні властивості графітового та танталу карбіду забезпечують ефективне розподіл та управління теплом. Це має вирішальне значення для підтримки рівномірного профілю температури через пластину, який необхідний для послідовної товщини плівки та властивостей матеріалу.

● Контроль забруднення: Матеріали з високою чистотою та міцне покриття TAC мінімізують генерацію частинок та перевершення. Це знижує ризик забруднення вафель та дефектів, що призводить до більш високого виходу та надійності пристроїв.

● Розширений термін експлуатації компонентів: Надійне покриття карбіду Tantalum забезпечує відмінну стійкість до ерозії плазми та хімічної атаки. Це продовжує експлуатаційний термін експлуатації посібника, скорочуючи час простою технічного обслуговування та знижуючи загальну вартість власності.