Компоненти планетарного реактора Aixtron G10 Solid SiC

1. Основні характеристики та переваги

• Повністю щільна структура Solid SiC без сполучних речовин для чудової зносостійкості та стійкості до корозії

• Відмінна теплопровідність і стійкість до термічного удару при температурах вище 1500 °C

• Наднизьке утворення частинок і висока чистота, що мінімізує ризик забруднення

• Надзвичайна хімічна інертність проти технологічних газів, що використовуються в SiC епітаксії

• Тривалий термін служби при багаторазових циклах високої температури

• Точна механічна обробка з жорсткими допусками розмірів для надійної посадки та стабільності процесу

 2. Типові програми

Ці аксесуари Solid SiC використовуються в ключових функціональних областях реактора Aixtron G10, зокрема:

• Кришки та окремі елементи кришки

• Захисні кільця та компоненти, що мають високий рівень зносу

• Прецизійні шпильки, шайби та дрібні конструктивні деталі

• Інші нестандартні вставки високої чистоти, які піддаються інтенсивному потоку газу або термічному навантаженню

Вони підтримують стабільний розподіл температури, рівномірну подачу газу та низьку щільність дефектів під час епітаксійного росту великих обсягів SiC для потужних МОП-транзисторів, діодів та відповідних широкозонних пристроїв.

3. Чому варто вибрати VeTek Solid SiC для Aixtron G10?

Як спеціалізований виробник напівпровідникових матеріалів, VeTek Semiconductor надає:

• Високочисті компоненти Solid SiC, спеціально розроблені для систем Aixtron G10, наприклад: кільце кришки， внутрішня/зовнішня кришки， висувна/опорна пластина， сателітний диск， суцептор

• Суворий контроль чистоти та точна обробка з ЧПУ

• Додаткові рішення, включаючи деталі з графітовим покриттям CVD SiC і покриттям TaC для повного покриття теплового поля

• Індивідуальні конструкції, адаптовані до конкретних умов процесу та конфігурації реактора

Наші аксесуари Solid SiC допомагають клієнтам максимізувати переваги продуктивності платформи Aixtron G10 — високий вихід пластин, відмінну товщину та однорідність легування, а також конкурентоспроможну вартість володіння — одночасно подовжуючи термін служби компонентів і зменшуючи втрати виходу, пов’язані з частинками.