Фокусування для травлення

Монокристалічні кілець кремнію є важливими компонентами в процесах травлення напівпровідникового травлення шляхом підтримки стабільності навколишнього середовища в плазмі крові, захисту обладнання та вафель, оптимізації використання ресурсів та адаптації до розширених вимог до процесів. Його продуктивність безпосередньо впливає на врожайність та вартість виробництва мікросхем.

Очепене фокус -кільце, електрод тощо (контролер температури краю) є основними витратними матеріалами для забезпечення рівномірності плазми, контролю температури та повторюваності процесу. Ці компоненти точно збираються у вакуумній камері ССЗ, травлення та плівок та безпосередньо визначають точність та вихід травлення від краю до центру вафлі.

У відповідь на суворий попит на властивості матеріалів у виробничих процесах високого класу, Viteksemi інноваційні, використовуючи монокристалічний кремній високої чистоти з опір 10-20 Ом · см для виготовлення фокусних кільця та підтримки витратних матеріалів. Завдяки спільній оптимізації матеріалознавства, електричного дизайну та термодинаміки, Viteksemi здатний виготовляти фокусування кільця та підтримувати витратні матеріали. Всебічно перевершує традиційні кварцові рішення для досягнення прориву вдосконалення довговічності, точності та ефективності витрат.

Порівняння основних матеріалів та оптимізація опору

Монокристалічний кремній Vs. Кварц

Основна продукція Advantage

1. Точність процесу атомного рівня

Оптимізація опору + ультраточне полірування (РА <0,1 мкм) усуває мікророзділ та забруднення частинок для відповідності напівфарбовуванню F47.

Діелектрична втрата (TANΔ <0,001) сильно відповідає діелектричному середовищу вафель, уникаючи спотворення електричного поля та підтримуючи 3D NAND 89,5 ° ± 0,3 ° вертикального травлення глибокого отвору.

2. Інтелектуальна сумісність системи

Інтегрований з модулем управління температурою ETC, потік повітряного повітря динамічно регулюється за допомогою алгоритму термопари та AI для компенсації термічного дрейфу камери.

Підтримуйте індивідуальну мережу відповідності РФ, що підходить для основних машин, таких як джерела Amat Centura, Lam Research Kiyo та ICP/CCP.

3. Комплексна економічна ефективність

Життя монокристалічного кремнію на 275% довше, ніж у кварцу, цикл технічного обслуговування становить понад 3000 годин, а комплексна вартість власності (TCO) знижується на 30%.

Служба налаштування градієнта опору (5-100ω · см), що точно відповідає вікно процесу клієнта (наприклад, GAN/SIC широкий проміжок матеріалу зазору).

Ефект опору

Комерційні умови продукту

Мінімальна кількість замовлення	1 набір
Ціна	Контакт для індивідуальної цитати
Деталі упаковки	Стандартний експортний пакет
Час доставки	Час доставки: 30-35 днів після підтвердження замовлення
Умови оплати	T/T
Здатність постачання	600 наборів/місяць