Підтримка обертової графіту

Сприцептор вафель є обов'язковим для епітаксіального процесу росту. Під час епітаксіального росту підкладка з пластину розміщується в сприйнятті. Верник напівпровідника, що обертаються графітом, що обертаються, використовуються в обладнанні обробки матеріалів під високою температурою та високими вакуумними середовищами. У епітаксіальному зростанні нітриду галію (процес MOCVD) вони відіграють підтримуючу роль у обертанні субстрату. Графітовий розсіл, що обертається з напівпровідником Vetek, має такі переваги:

● Висока чистота: Вміст домішок у обертовій графіті з високою чистотою знаходиться нижче 5ppm. Цей рівень графіту чистоти може уникнути вивільнення домішок при високих температурах, щоб забезпечити чистоту процесу осадження. Тому для виконання робочих вимог покриття не потрібно.

Графіт високої чистоти

● Відмінні теплові властивості: Графіт високої чистоти має чудову теплопровідність, а його теплопровідність набагато вища, ніж інші матеріали. Коефіцієнт теплового розширення невеликий і може підтримувати стабільні показники при переживанні змін температури.

● Хороші механічні властивості: Графіт високої чистоти має хорошу стійкість та міцність, що може відповідати складним вимогам процесу ССЗ.

● Відмінна провідність: Провідність у сто разів вища, ніж у загальних неметалічних мінералів.

● Хімічна стабільність: Він може протистояти корозії з кислот, луг та органічних розчинників

Більше того, як провідний виробник та постачальник високої чистоти, що обертається, в Китаї, напівпровідник Vetek також постачає високоякіснуГрафітовий серйофітор з покриттям SIC для MOCVD, SIC з покриттям бочкового віру, Підтримка графіту з покриттям TACіMocvd SIC -чутливий покриття.Vetek Semiconductor прагне надати передові технології та рішення для продуктів для напівпровідникової галузі, а також підтримує індивідуальні послуги. Ми щиро сподіваємось стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Це напівпровідникГрафітові обертові магазини продуктів серйовика: