Підтримка покриття карбіду Tantalum

Основна функція напівпровідника VetekПокриття карбіду Танталум (TAC)Підтримка полягає в поліпшенніТеплостійкість, стійкість до зносу та корозійна стійкістьпідкладки шляхом покриття шару карбідного покриття Tantalum, щоб підвищити точність та надійність процесу та продовжити термін служби компонентів. Це високопродуктивний продукт покриття, що використовується в галузі напівпровідникової обробки.

Ветек напівпровідникове покриття з карбіду карбіду має твердість MOHS майже 9 ~ 10, поступаючись лише алмазу. Він має надзвичайно сильну стійкість до зносу і може ефективно протистояти зношенню поверхні та впливу під час переробки, тим самим ефективно розширюючи термін служби компонентів обладнання. У поєднанні з високою температурою плавлення близько 3880 ° C часто використовується для покриття ключових компонентів напівпровідникового обладнання, таких як поверхневі покриття опорних конструкцій, обладнання для очищення тепла, камери або прокладки в напівпровідниковому обладнанні для підвищення стійкості до зносу та високої температури.

Через надзвичайно високу температуру плавлення карбіду Танталу близько 3880 ° C, в процесах переробки напівпровідників, таких якХімічне осадження пари (CVD)іФізичне осадження пари (PVD), Покриття TAC з сильною високою температурною стійкістю та хімічною корозійною стійкістю може ефективно захищати компоненти обладнання та запобігти корозії або пошкодженню субстрату в екстремальних умовах, забезпечуючи ефективну захист для високотемпературних середовищ у виробництві вафель. Ця особливість також визначає, що підтримка карбіду Tantalum Carbide Semiconductor Vetek часто використовується для травлення та корозійних процесів.

Підтримка покриття карбіду Tantalum також має функцію зменшення забруднення частинок. Під час переробки вафель, поверхневий знос зазвичай створює забруднення частинок, що впливає на якість продукту пластини. Екстремальні характеристики продукту TAC на близько 9-10 MOHS твердість може ефективно зменшити цей знос, тим самим зменшуючи генерацію частинок. У поєднанні з чудовою теплопровідністю TAC покриття (близько 21 мас/м · к) він може підтримувати хорошу теплопровідність при високих температурних умовах, тим самим значно покращуючи вихід та узгодженість виробництва вафель.

Основні продукти для покриття TAC Semiconductor VetekНагрівач покриття TAC, CVD TAC покриття тигель, ТАК Покриття НападникіЗапасна частина покриття TACтощо, та підтримувати індивідуальні послуги продуктів. Vetek Semiconductor прагне забезпечити чудову продукцію та технічні рішення для напівпровідникової галузі. Ми щиро сподіваємось стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.

Танталум карбіду (TAC) покриття на мікроскопічному поперечному перерізі:

Основні фізичні властивості покриття CVD TAC：