SiC Керамічний вакуумний патрон для пластин

Керамічний вакуумний патрон Veteksemicon sic для пластин є основним компонентом, розробленим спеціально для виробництва напівпровідників третього покоління, оптимізованим для середовища обробки при високій температурі та високому тиску, в якому зазнають пластини. Виготовлені з керамічних матеріалів високої чистоти, точна механічна обробка та спеціальна обробка поверхні забезпечують стабільне утримання вакууму та чудову термічну стабільність у складному процесі виробництва напівпровідників. Наші вакуумні патрони перевірені сотнями виробників напівпровідників, демонструючи чудову продуктивність у критичних процесах, таких як SiC епітаксія, іонна імплантація та фотолітографія. Вони ефективно вирішують проблеми з викривленням пластин і точністю позиціонування, спричинені високою твердістю матеріалу та високими температурами процесу.

Загальна інформація про товар

Умови комерційної діяльності продукту

застосування: Керамічний вакуумний патрон Veteksemicon для пластин виготовлено з високоякісних керамічних матеріалів і має точну механічну обробку, щоб забезпечити надплоску поверхню та чудову термічну стабільність. Він забезпечує надійні рішення для адсорбції пластин і контролю температури для таких процесів, як епітаксійне вирощування, іонна імплантація та фотолітографія, ефективно підвищуючи продуктивність процесу та ефективність виробництва.

Послуги, які можуть бути надані: аналіз сценарію заявки клієнта, підбір матеріалів, вирішення технічних проблем.

Профіль компанії：Veteksemicon має 2 лабораторії, команду експертів з 20-річним досвідом роботи з матеріалами, з можливостями науково-дослідних розробок, виробництва, тестування та перевірки.

Керамічний вакуумний патрон Veteksemicon для переваг вафельного сердечника

 ● Прорив у матеріалознавстві

Мій суперник використовує унікальний склад матеріалу та процес спікання для значного підвищення механічної міцності та термічної стабільності своєї продукції, зберігаючи чудові ізоляційні властивості керамічних матеріалів. Наша кераміка на основі оксиду алюмінію використовує сировину високої чистоти та спеціальну формулу добавок, що забезпечує чудову стабільність розмірів навіть у середовищі з високою температурою. Наша кераміка на основі карбіду кремнію завдяки оптимізованому процесу спікання досягає вищої теплопровідності та покращеного теплового узгодження, що робить її особливо придатною для високотемпературної обробки пластин SiC.

 ● Чудова ефективність управління температурою

Наша унікальна багатошарова конструкція та точна обробка гарантують, що патрон зберігає відмінну теплову рівномірність навіть за умов експлуатації з високими температурами. Патрон з карбіду кремнію може похвалитися теплопровідністю, що перевищує 200 Вт/м·К, що дозволяє швидко збалансувати температуру та підтримувати коливання температури поверхні пластини в межах ±0,8°C. Ця чудова здатність керування температурою ефективно дозволяє уникнути дефектів процесу, викликаних коливаннями температури, і значно покращує вихід продукту.

● Надточна технологія обробки

Мій суперник може похвалитися провідними прецизійними обробними центрами в Китаї, які використовують унікальні процеси шліфування та полірування для досягнення субмікронної площинності поверхні. Наші патрони з карбіду кремнію досягають площинності поверхні в межах 0,8 мкм із значенням шорсткості поверхні Ra не більше 0,1 мкм. Ця надточна якість поверхні забезпечує ідеальну посадку між пластиною та патроном, забезпечуючи надійну плоску орієнтиру для точних процесів, таких як фотолітографія.

● Покращений термін служби

Завдяки оптимізованому складу матеріалів і посиленому структурному дизайну наші продукти мають термін служби, що перевищує 40% порівняно з традиційними продуктами. Спеціальні технології зміцнення країв і покриття поверхні дозволяють нашим виробам витримувати часті операції затискання та очищення. Продукти на основі оксиду алюмінію гарантовано працюють понад 200 000 разів, тоді як продукти на основі карбіду кремнію можуть досягати понад 500 000 циклів, що значно знижує експлуатаційні витрати для наших клієнтів.

● Підтвердження перевірки екологічного ланцюга

Керамічний вакуумний патрон Veteksemicon для перевірки екологічного ланцюга охоплює сировину для виробництва, пройшов сертифікацію за міжнародними стандартами та має низку запатентованих технологій для забезпечення його надійності та стійкості у напівпровідниковій та новій енергетиці.

Будь ласка, щоб отримати докладні технічні специфікації, офіційні документи або зразки домовленостей про тестуваннязверніться до нашої служби технічної підтримкищоб дослідити, як Veteksemicon може підвищити ефективність ваших процесів.